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美國賽默飛世爾電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀

美國賽默飛世爾電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，高頻振蕩器發(fā)生的高頻電流，經(jīng)過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內有三個同軸氬氣流經(jīng)通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環(huán)繞等離子體起穩(wěn)定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。